量子器件中心（ShanghaiTech Quantum Device Lab，简称SQDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的全社会开放的校级公共研发和教学实践育人平台。中心重点聚焦微电子、光电子和微纳机电领域的新一代芯片培育研发和人才培养，吸引和聚集国内外科研用户，促进相关学科交叉和合作研究，致力于打造国内外领先的微纳设备共享平台、工艺技术研发平台和人才培养基地（“两平台一基地”），助力提升学校在材料、信息技术等交叉学科科研实力、人才培养能力以及微纳制造技术领域的影响力和竞争力。同时，中心也将积极与工业界合作，推动科研成果产业化，促进科技创新和经济发展。

一、设备一流

中心位于海科路99号1号楼，总面积为2600余平方米，其中超净室占地1500平方米，含1000平方米的千级（ISO-6，白光区）和500平方米的百级（ISO-5，黄光区）超净区域。超净室按照微纳加工流程进行布局，包括光刻区、镀膜区、干法刻蚀、湿法区、量测区以及部分前道和后道工艺扩展区。超净室建有针对III-V族、超导和MEMS器件专用的4-6英寸工艺研发线，工艺线上拥有70多台套国内外先进的微纳加工与测试仪器设备，包括Stepper步进式光刻机、EBL电子束曝光机、AlN功能材料生长系统、扫描电子显微镜等大型先进设备，具备10纳米至微米级器件与图形的加工测试能力。

二、运行概况

自2020年运行以来，量子器件中心通过创新管理和运营机制，优化用户服务、加强工艺技术团队建设、提升工艺技术水平等，推动稳步发展。

 （一）支撑队伍：中心团队教职工共20余人，由技术专家、研究人员、工程师和运营管理人员组成，博士学位人员和高级职称人员占比45%，拥有10年本领域技术经验人员占比50%，是一支结构合理、技术精湛、经验丰富的平台运行和管理团队，可为平台运营、用户服务、技术开发、人才培养等工作提供强有力保障。

（二）用户服务：中心聚集了30多家校内外用户单位，服务课题组62个，用户总数已逾400人，在中心流片的国家级、省级及市区级科研项目累计达150多个，已培训用户超4000人次，服务单位主要包括校内物质学院、信息学院和生医工学院相关课题组、中科院相关研究所、其他科研单位及业界高新企业单位。

（三）工艺技术：中心不仅可提供高质量、稳定的设备服务，还为用户提供全方位的技术支持、咨询、培训和解决方案，致力于帮助解决微纳尺度级别的制造挑战和实践需求。至今已为若干家单位提供委托加工技术服务和开发服务，涉及光栅、量子阱传感器、III-V族光电和硅光器件、超导探测器、铌酸锂薄膜及氮化铝薄膜器件等，并提供光刻、镀膜、刻蚀、量测、后道等单步和多步工艺的代工。

（四）教书育人：随着我校“材料科学与工程专业”列入国家“双一流”学科建设第二批名单中，量子器件中心成为学校“双一流”建设的重要科研教学支撑和服务平台之一。2023年春学期起量子器件中心面向本研学生陆续开设《量子材料与微纳器件制造技术I、II》及《前沿工程技术创新与实践（微纳类）I、II、III》等系列“分阶育人”微纳技术课程，并支持信息学院和物质学院相关课程教师带领学生前来进行实验观摩。同时，结合中心“设施一流、产教融合”特色，中心依托信息学院“电子信息工程”和物质学院“材料与化工”两个专业硕士学位点开展研究生培养工作，致力于培育理论扎实、技术过硬的微纳制造工艺工程技术人才，真正满足产业一线的实际用人需求。预计2027年起在读研究生总人数将达到每年150人。

（五）对外合作：目前，中心已与多家研究院所、创新企业和研发单位建立战略合作联盟，携手共建共促。未来，量子器件中心将与战略合作单位、高新研发企业进行全方位产教融合，面向产业最先进技术和最迫切需求，开展人才培养和高水平工艺研发，致力于成为人才聚集地、重大原创性成果的发源地以及合作的重要窗口。

无论您是从事学术研究、工业开发还是技术创新，量子器件中心很荣幸成为您的最佳合作伙伴。通过我们卓越的技术和不断创新的研发，我们致力于推动微纳米科学和微加工技术的进步，为社会进步和创新发展做出重要贡献。