2023-07-07
7月5日下午,来自物质学院和信息学院共110余名夏令营本科生到中心参观,中心4名工程师化身讲解员,带领同学们开启初识芯片制造之旅。在中心大厅,学生们先观看了芯片制造科普视频,讲解员深入浅出地向大家讲解了其工艺流程和原理,并普及了与芯片制造相关的纳米技术和微电子学的基础知识。学生们连连惊叹,原来从最初的硅锭转化为实际的芯片要历经数百步甚至上千步工艺,每一步都不可或缺。接着,讲解员向学生们介绍了芯片制造所需的超净室构造和环境等,强调了超净室层流气流模式、洁净等级和黄光区等要求,这让同学们切身感受到了无尘、完善、稳定的微纳工艺研发环境。接着学生们又来到超净室参观走廊,隔着一屏之隔,大家更近一步接触了镀膜、刻蚀、光刻、量测等不同工艺区域的各类设备,讲解员重点介绍了大家最感兴趣的步进式光刻机、电子束曝光机等光刻设备。大家初步了解到了不同设备从10纳米、150纳米到0.8微米不同尺度的曝光极限指标,感叹微纳精密仪器的“精”与“细”。同时,为帮助同学们了解微纳加工技术应用,讲解员通过用户成果展板向大家生动讲解了硅光器件、Ⅲ-Ⅴ族光电器件、偏振量子阱探测器、偏压微机械超声换能器等。值得一提地是,参观中