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1. 主要功能及特色：
采用无油隔膜泵+分子泵获得高真空环境，保证样品喷金处理过程不会产生二次污染。特别适用于追求高分辨率SEM样品的喷金。主要的特点：无油，高真空，制备薄膜纯度高，薄膜质量优。
2. 主要规格及技术指标：
溅射功率：6→14W |
沉积温度：≤37℃ |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训
2.培训方式：联系负责工程师预约培训
暂无
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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