功能说明：

此页面用户可通过浏览“超净室仪器设备位置分布图”，查询某个位置的设备信息，通过查阅“设备编号表”了解“设备名称”，并点击“设备名称”学习设备参数等信息。

为方便用户查询仪器设备名称和所在位置，结合中心超净室工艺流程的区域布局，对设备进行了编号，每个设备都有唯一的编号。编号由工艺流程号、设备排序号及楼层标识3部分组成。其中：

（1）工艺流程号：1个数，1-6之间，1-光刻区；2-湿法区；3-干法区；4-量测区；5-封装区；6-其他。

（2）设备排序号：2个数，01-20之间，按位置排序。

例如：设备编号“1-03”，代表光刻区在1楼的第3个设备，查表可知为“高速分辨率无掩膜光刻仪MLA150”；设备编号“1-09B”，代表光刻区的在B1楼的第9个设备，查表可知为“电子束曝光机EBL”。