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用户指南


序号化学品名称
Name		成分或型号
Composition		简介
Functions		技术安全说明书
MSDS		存放位置
Location		申请联系人
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1无水乙醇C2H6O有机溶剂，无色液体，有酒香，易燃。乙醇-MSDS.pdf化学品柜叶佳
2丙三醇C3H8O3有机溶剂，透明无色,粘性液体，无毒丙三醇-CSDS.pdf化学品柜叶佳
3丙酮CH3COCH3
CH3COCH3		有机溶剂，无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发，易燃、化学性质较活泼。丙酮-MSDS.pdf化学品柜叶佳
4异丙醇C3H8O有机溶剂，无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味，易燃，具刺激性。异丙醇-MSDS.pdf化学品柜叶佳
5无水乙醚C4H10O用作有机清洗溶剂，医药上用作麻醉剂。乙醚-CSDS.pdf化学品柜叶佳
6三氯乙烯C2HCl3难溶于水，溶于乙醇、乙醚等。三氯乙烯为可燃液体，遇到明火、高热能够引发火灾爆炸的危险。三氯乙烯-CSDS.pdf化学品柜叶佳
7氨水NH4OH氨水，指氨的水溶液，有强烈刺鼻气味，具弱碱性。氨水-CSDS.pdf化学品柜叶佳
8

过氧化氢30%

H2O2过氧化氢，30%水溶液，氧化剂，漂白剂H2O2-MSDS.pdf化学品柜叶佳
9硫酸H2SO4无色澄清油状液 体。无气味。能与水和乙醇混溶，并放出大量热而猛烈溅开，宜将酸渐渐加入水中。暴露空气中迅速吸收水分，也能夺取有机物如糖、纸、布、木等中的水分子而使其碳化。相对密度约1.84。沸点约290℃。低毒。有强腐蚀性。H2SO4-MSDS.pdf化学品柜叶佳
10硝酸HNO3强酸HNO3-CSDS.pdf化学品柜叶佳
11氢氟酸40% HF适用于氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈、无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气体。易溶于水、乙醇、微溶于乙醚。HF-MSDS.pdf化学品柜叶佳
12氟化铵NH4F白色粉状结晶。沸点64.6℃,易潮解、易溶于水，微溶于醇，受热时或在热水中会分解。能腐蚀玻璃，有毒。氟化铵-MSDS.pdf化学品柜叶佳
13盐酸HCl有强烈的刺鼻气味，具有较高的腐蚀性。盐酸-CSDS.pdf化学品柜叶佳
14氢氧化钾KOH易潮解。易溶于水，溶解时放出大量溶解热，有极强的吸水性。溶于乙醇，微溶于醚。有极强的碱性和腐蚀性，其性质与烧碱相似。能引起灼伤。易于吸收空气中的水分和CO2。
禁配物 强酸、易燃或可燃物、二氧化碳、酸酐、酰基氯避免接触的条件 潮湿空气用于Si的刻蚀
KOH-MSDS.pdf化学品柜叶佳
15邻二甲苯C8H10无色透明液体，用作溶剂和涂料生产。EBL显影液使用。邻二甲苯-MSDS.pdf化学品柜叶佳
16NMPC5H9NO去胶液，主要成分为1-甲基-2-吡咯烷酮（NMP），
加热可有效溶解光刻胶。		NMP-MSDS.pdf化学品柜叶佳
17AZ 300 MIF Developer四甲基氢氧化铵；水显影液AZ_300MIF-MSDS.pdf化学品柜叶佳
18光刻胶SPR3612正性厚光刻胶
黄光区冰箱彭鹏飞
19光刻胶SPR220-3正性厚光刻胶
黄光区冰箱彭鹏飞
21光刻胶SPR-220-7正性厚光刻胶，可厚约6.5微米或9微米，用于选择性电镀，深硅刻蚀等工艺。SPR220-7-MSDS.pdf黄光区冰箱彭鹏飞
22光刻胶AZ5214-E适用于高分辨率工艺（lift-off工艺; optimized for i-line）；适用于正/负图形；很宽的膜厚范围等工艺。AZ5214E-MSDS.pdf黄光区冰箱彭鹏飞
23光刻胶S1805正性光刻胶(optimized for g-line)，约0.5微米左右薄，分辨率高，稳定可靠。S1805-MSDS.pdf黄光区冰箱彭鹏飞
24光刻胶S1813正性光刻胶   使用显影液MF-319
黄光区冰箱彭鹏飞
25光刻胶S1818正性光刻胶(optimized for g-line)，约1.8微米左右薄，分辨率高，稳定可靠。S1818-MSDS.pdf黄光区冰箱彭鹏飞
26光刻胶ZEP-520AEBL用的正性光阻（厚度300-700 nm 未稀释）
溶剂：苯甲醚 Anisole		ZEP 520A-MSDS.pdf需申请，有偿使用彭鹏飞
27光刻胶495K PMMA A2polymethyl methacrylate 聚甲基丙烯酸甲酯
Solids: 2% - 6% in Anisole 苯甲醚（A2 为 2%）
EBL正胶 膜厚 50-100 nm		495_PMMA-MSDS.pdf需申请，有偿使用彭鹏飞
28光刻胶495K PMMA A4polymethyl methacrylate 聚甲基丙烯酸甲酯
Solids: 4% in Anisole 苯甲醚
EBL正胶 膜厚 180-300 nm		495_PMMA-MSDS.pdf需申请，有偿使用彭鹏飞
29光刻胶950K PMMA A4polymethyl methacrylate 聚甲基丙烯酸甲酯
Solids: 4% in Anisole苯甲醚
EBL正胶 膜厚 200-450 nm		950PMMA-MSDS.pdf需申请，有偿使用彭鹏飞