序号

耗材名称

型号

收费标准（元）

元/单位

备注

1

硅片

4寸标准单抛片, <100>N型，低阻

150

元/片

2

硅片

6寸标准单抛片，<100>N型，低阻

250

元/片

3

硅片

8寸标准单抛片, <100>N型，低阻

450

元/片

4

EBL光刻胶

ZEP520A

500

元/ML

5

EBL光刻胶

495K PMMA A2

40

元/ML

6

EBL光刻胶

950K PMMA A2

40

元/ML

7

EBL光刻胶

495K PMMA A4

40

元/ML

8

EBL光刻胶

950K PMMA A4

40

元/ML

9

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA EL9

40

元/ML

10

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA EL9

40

元/ML

11

EBL导电胶

Discharge H2O

200

元/ML

12

打线机金线

25um直径

10

元/cm

13

液氮

10

元/L

14

滴管

1ml、2ml、5ml

1

元/只

15

双氧水

AR（沪试），≥30.0%

1

元/10ML

常规试剂耗材，如单次使用量小于500ml，不单独计费

16

硫酸

AR（沪试），95.0～98.0%

1

元/10ML

17

硝酸

AR（沪试），65.0～68.0%

1

元/10ML

18

氢溴酸

AR（沪试），≥40.0%

2

元/10ML

19

溴

AR分析纯

1

元/g

20

盐酸

AR（沪试），36.0～38.0%

1

元/10ML

21

HF酸

GR优级纯

1

元/10ML

21

氟化铵

CMOS

1

元/10g

22

贵重金属

Au、Pt、Ge/Au等

15

元/nm

序号

耗材名称

型号

序号

耗材名称

型号

1

EBL显影液(邻二甲苯）

O-Xylene

15

无水乙醇

AR（沪试），≥99.7%

2

EBL显影液（MIBK）

MIBK

16

异丙醇

CMOS

3

EBL光刻胶稀释液（thinner）

ZEP-A

17

乙二醇

AR

4

增粘剂

HMDS

18

丙酮

AR

5

增粘剂

SURPASS4000

19

乙醚

AR

6

光刻胶

SPR3612

20

三氯乙烯

AR

7

光刻胶

SPR 220-3

21

氨水

AR（沪试），25～28%

8

光刻胶

SPR 220-7

22

双氧水

AR（沪试），≥30.0%

9

光刻胶

AZ5214-E

23

硫酸

AR（沪试），95.0～98.0%

10

光刻胶

S1805

24

盐酸

AR（沪试），36.0～38.0%

11

光刻胶

S1813

25

HF酸

GR优级纯

12

光刻胶

S1818

26

氟化铵

CMOS

13

显影液

AZ300MIF

27

BOE

6:1(含表面活性剂)

14

去胶液

NMP

28

磷酸

AR, ≥85 wt. % in H2O