下载地址：《上海科技大学量子器件中心（SQDL）用户手册（第一版).pdf

使用说明：

上海科技大学量子器件中心（ShanghaiTech Quantum Device Lab，简称SQDL）是上海科技大学建设的校级大型仪器设备共享平台，集微米、纳米加工、制造和测试手段于一体，是推动微纳米领域的基础研究及学科间的相互合作、以及促进研究人员和学科间的互动与交流的开放性技术支撑平台，面向符合交叉污染规则的校内外用户和研发企业开放。用户经过申请和培训、考核和授权以及预约，可按规则自行操作仪器设备，也可以根据情况采用委托中心工程师代工的形式。

本手册包括中心简介、用户和设备权限以及委托加工服务等全流程说明、以及实验室安全操作规范和基础操作规范等内容，基本涵盖了用户服务全流程规范和要求。

为规范服务，保障用户的人身安全以及洁净室微纳加工仪器设备的正常运行，所有用户和进入洁净室的人员（包括临时访问人员等）有义务仔细阅读和准确理解本手册的相关规定和内容。

该手册中已设置了诸多用户服务流程中涉及的文件/说明/网站/规章制度，用户如需获取，可直接点击文字超链接。

目录

第一部分 量子器件中心简介

1 基本概况

2 运行理念

3 用户功能区域划分

4 超净室仪器设备导航图

第二部分 用户服务流程

1 超净间新用户权限申请流程

2 用户操作设备授权等级表和流程

（1） 设备授权等级表

（2） 1-4级设备授权流程

（3） 设备独立操作权限培训授权表（样式）

3 授权用户自主操作设备流程

4 校外客户委托加工流程

第三部分 实验室安全操作规范

1 实验室EHS管理办法

（1）净化室安全

（2）化学品安全

（3）计算机及网络安全

2 实验室消防设施分布及紧急逃生图

第四章 用户使用实验室基础规范

1 工艺设备防止交叉污染使用暂行规则

2 新工艺批准流程与详细说明

3 净化室进出规则

4 储物盒申请

5 实验样品柜申请流程

6 自带化学品进入流程

7 废弃物处理

第五章 用户奖惩措施

1 用户科研成果机时奖励暂行办法

2 用户纪律和违规处罚管理暂行办法