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1. 主要功能及特色：
提供光刻后的打底膜，去除光刻胶
2. 主要规格及技术指标：
样品尺寸：12寸以下 |
工作气体：氧气，氩气，四氟化碳等 |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SQDL@shanghaitech.edu.cn
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