• 2023-10-31
    为提升平台服务质量,更好地展示服务和技术资源,为用户提供优质的访问体验,量子器件中心对官网网站进行了改版升级,新版网站内容丰富、界面友好、布局简洁、功能完善。2023年10月31日新版网站上线试运行,旧版网站将停更信息。
  • 2023-10-26
    为激励广大优秀大学生开展与微纳制造相关的前沿创新基础研究,进一步强化平台科研育人的功能和水平,上海科技大学量子器件中心欢迎并支持全国优秀大学生依托本平台资源申请国家自然科学基金青年学生基础研究项目。申请人如获得资助,将获得本平台仪器设备、实验条件等优先使用权。
  • 2023-08-29
    8月24日、25日,参加我校2024届高中生科技探索活动的近百名来自全国各地的高中生走进量子器件中心,与芯片工程师深入交流,开展专业体验。在这里,同学们领略了芯片制备的“精”和“难”,并对芯片的超净环境、制造工艺、精密设备等有了初步认识。 在中心一楼大厅,芯片工程师首先结合日常生活向同学们阐释了什么是芯片,以及为什么芯片技术成为了国家的“卡脖子”难题,激发了同学们对芯片制备技术的求知欲。继而,结合科普视频和宣传展板内容,深入浅出的介绍了芯片制备的整个流程,解释了芯片技术之难主要在于其工艺技术繁琐复杂、设备精密度要求极高、工艺环境要求苛刻等因素,并用通俗易懂的语言让同学们对高深莫测的芯片制备过程揽之于心。 在对芯片的概念有了基本的认识之后,芯片工程师进而带同学们来到实验室的参观走廊。跟随着参观的脚步,一方面进一步介绍了实验室规模、实验室无尘和稳定环境的维护以及各类高精尖设备的储备情况;另一方面,带领同学们透过玻璃橱窗观看了芯片制备从清洗、镀膜到光刻、刻蚀等微纳加工工艺的实操景象。 经过本次交流学习,同学们纷纷表示百闻不如一见,参观过量子器件中心后对芯片技术有了更加具象的认识,
  • 2023-07-07
    7月5日下午,来自物质学院和信息学院共110余名夏令营本科生到中心参观,中心4名工程师化身讲解员,带领同学们开启初识芯片制造之旅。在中心大厅,学生们先观看了芯片制造科普视频,讲解员深入浅出地向大家讲解了其工艺流程和原理,并普及了与芯片制造相关的纳米技术和微电子学的基础知识。学生们连连惊叹,原来从最初的硅锭转化为实际的芯片要历经数百步甚至上千步工艺,每一步都不可或缺。接着,讲解员向学生们介绍了芯片制造所需的超净室构造和环境等,强调了超净室层流气流模式、洁净等级和黄光区等要求,这让同学们切身感受到了无尘、完善、稳定的微纳工艺研发环境。接着学生们又来到超净室参观走廊,隔着一屏之隔,大家更近一步接触了镀膜、刻蚀、光刻、量测等不同工艺区域的各类设备,讲解员重点介绍了大家最感兴趣的步进式光刻机、电子束曝光机等光刻设备。大家初步了解到了不同设备从10纳米、150纳米到0.8微米不同尺度的曝光极限指标,感叹微纳精密仪器的“精”与“细”。同时,为帮助同学们了解微纳加工技术应用,讲解员通过用户成果展板向大家生动讲解了硅光器件、Ⅲ-Ⅴ族光电器件、偏振量子阱探测器、偏压微机械超声换能器等。值得一提地是,参观中
  • 2023-07-07
    7月5日下午,量子器件中心(下称“中心”)研究生培养委员会成立会议暨第一次会议在中心会议室顺利召开。物质学院执行院长/中心主任陆卫、中科院上海微系统所党委书记/上海硅产业集团股份有限公司董事长俞跃辉、上海市产业技术专家委员会专家陈寿面、上海新微半导体有限公司总经理许东、上海集成电路材料研究院首席技术专家王诗男、校物质学院副院长徐旭光、信息学院副院长周平强和助理院长寇煦丰、生医工学院助理院长王乾以及中心平台负责人方维政、技术业务部负责人宋艳汝等11名委员参加会议,中心主管部门校科技发展处负责人王绛主持会议。他指出,按照校领导对中心卓越工程师人才培养工作的具体指示和部署,中心依托物质学院“材料研究生培养委员会将致力于协助中心开展研究生培养工作的研究、咨询、指导和评议,成员主要来自集成电路及其相关领域产、学、研及中心四方管理和技术专家代表。随后,王绛代表中心管理委员会宣布量子器件中心研究生培养委员会正式成立,她表示,中心研究生培养委员会的组成特色鲜明,期待来自产业界的委员们积极参与相关工作,助力研究生培养顶层设计和规划,切实帮助中心建设满足产业单位用人需求的研究生培养体系。他强调中心将发挥平
  • 2023-06-13
    2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程顺利完结 近日,由量子器件中心牵头开设的2023
  • 2023-05-26
    量子器件中心第一届用户委员会第五次会议顺利召开 5月25日上午,量子器件中心(下称中心)第一届用户委
  • 2023-03-16
    量子器件中心双离子源刻蚀系统(Ion Beam Etching System)投入使用 1.设备简介
  • 2023-02-14
    量子器件中心2022年度总结表彰暨2023年工作部署会圆满召开 立春之际,开工大吉。2023年2
  • 2023-02-13
    2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程在量子器件中心拉开序幕 2023年2月10日下午