量子器件中心（ShanghaiTech Quantum Device Lab，简称SQDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的全社会开放的校级公共研发和教学实践育人平台。中心重点聚焦微电子、光电子和微纳机电领域的新一代芯片培育研发和人才培养，吸引和聚集国内外科研用户，促进相关学科交叉和合作研究，致力于打造国内外领先的微纳设备共享平台、工艺技术研发平台和人才培养基地（“两平台一基地”），助力提升学校在材料、信息技术等交叉学科科研实力、人才培养能力以及微纳制造技术领域的影响力和竞争力。同时，中心也将积极与工业界合作，推动科研成果产业化，促进科技创新和经济发展。一、设备一流中心位于海科路99号1号楼，总面积为2600余平方米，其中超净室占地1500平方米，含1000平方米的千级（ISO-6，白光区）和500平方米的百级（ISO-5，黄光区）超净区域。超净室按照微纳加工流程进行布局，包括光刻区、镀膜区、干法刻蚀、湿法区、量测区以及部分前道和后道工艺扩展区。超净室建有针对III-V族、MEMS器件和超导专用的4-6英寸工艺研发线，工艺线上拥有70多台套国内外先进的微纳加工与测试仪器设备，