立志微纳，成才卓越

设备展示

功能说明：

1. 本页面主要供用户查阅仪器设备信息，可点击具体模块进行搜索，或直接查找设备关键字。

2. 如需了解详细设备内容，请点击设备卡片More

3.如要查询某设备具体在超净实验室的位置，请点击“设备导航”菜单，通过设备编号查询。

3-14
预约送样
等离子刻蚀系统 三五族刻蚀机
设备编号：3-14
设备管理员A：吴廷琪
设备管理员B：
邮箱：wutq@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：021-20684742
电话：

1. 主要功能及特色：

三五族含铟化合物的半导体材料的刻蚀工艺

2. 主要规格及技术指标：

样品尺寸：4寸及以下

刻蚀气体：CH4, H2, Cl2，BCl3, N2

极限真空：3*10-6Torr

3.服务内容：

提供用户自主操作、委托加工服务


设备状态良好，可供使用


1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训

2.培训方式：请到SQDL日历中查阅与报名


请联系设备管理员

工艺时间

工艺展示

内容和指标说明

2021.10.23


InP台面刻蚀


设备介绍
设备状态
培训
设备SOP
工艺展示