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1. 主要功能及特色：
适用于纳米级到1200微米的样品的形貌测量。
2. 主要规格及技术指标：
载台尺寸：最大至4寸晶圆 |
垂直分辨率：0.38 A |
重复性：对于1微米的标样在无需防震台的情况下重复性小于5 A |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训
2.培训方式：请到SQDL日历中查阅与报名
暂无
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SQDL@shanghaitech.edu.cn
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