立志微纳，成才卓越
发布者：吴文一发布时间：2025-03-11浏览次数：22
集成电路/微纳技术领域研究方向
1. EBL和EUV曝光过程和相关材料的辐射化学过程研究和相关材料感度预测
2. EBL和EUV光刻胶原位辐照研究，包括红外光谱和产气分析在线质谱（图1）
图一，自研的电子束分子工程系统（左）和原位电子束辐照-红外光谱-质谱装置（右）
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