曹克诚

上海科技大学物质科学与技术学院电子束分子工程课题组组长；长期从事电子与物质相互作用相关的研究，包括电子束辐射化学和透射电子显微学等。利用自研的电子束分子工程系统和原位电子束辐照-红外光谱-质谱装置，以及像差校正透射电子显微镜，研究入射电子与物质的相互作用，发展使用电子束于原子分子尺度实时激发、控制和观察化学反应的方法。迄今在国际重要学术期刊Nature，Nat. Chem.， Sci. Adv.， Nat. Commun.， Nano Lett等上发表SCI论文70余篇.相关研究被世界顶尖科学家协会评选为2020年度世界十大有影响力的科学突破；获得上海市启明星计划、上海市领军人才计划和国家海外优秀青年计划支持。此外，本课题组基于电子束辐射化学基础研究开展包括EBL和EUV曝光过程和相关材料的研究，开发了相关材料感度预测的Oracle软件，并与某企业和科学研究所开展了包括“高能电子束作用下的图案化材料技术”和“电子辐射下薄膜材料的原位研究”等合作项目，实现了相关材料的国产化，获得优秀项目结题。