紫外光刻、深紫外光刻
1.负责所管理设备的日常规范管理与维修维保；
2.维护所管理仪器设备的操作手册，开展工艺研发，形成相关工艺文件；
3.开展相关委托加工服务，向客户提供微纳技术解决方案；
4.开展所管理设备的用户培训工作；
5.参与平台相关实验课程的理论与实验讲授；
6.协助平台开展研究生培养工作；
7.参与平台其他综合服务工作。
1. 步进式光刻机
2. 接触式光刻系统（MA6）
3. 匀胶通风橱（大仪名称：湿法腐蚀台1-06）
4. 匀胶通风橱（大仪名称：有机清洗通风橱1-05）
1.《量子材料与微纳器件制造技术》课程
2. 接触式光刻系统（MA6）工艺培训
3. 匀胶通风橱工艺培训
专利：
1.单片晶圆显影装置及使用方法，ZL 202221005563.6
2.一种精密显影涂布头，已受理
3.一种光刻胶精密显影系统、显影方法及存储介质，已受理
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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