上海科技大学材料器件中心2024年度技术创新开放共享课题指南上海科技大学材料器件中心（ShanghaiTech Material and Device Lab，简称SMDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的面向全社会开放的集成电路先进制造领域的校级公共研发平台和教学实践育人基地。SMDL重点致力于开展三五族半导体材料、微纳电子器件、微机电系统、光电子器件、生物芯片等应用领域的材料生长和器件制备的科学研究和技术开发，促进相关学科交叉和合作研究，开展专硕培养工作，努力建设成为具有重要国内外影响力的公共科研服务平台和创新人才培养基地。SMDL微加工平台集半导体材料制备、微纳加工、量测技术于一体，拥有1500平方米的超净室，建有针对III-V族、硅光、超导和MEMS器件专用的4-6英寸工艺研发线，工艺线上拥有近百台套国内外先进的光刻、镀膜、刻蚀、清洗、量测及前后道等微纳加工与测试仪器设备，包括Stepper步进式光刻机、EBL电子束曝光机、AlN功能材料生长系统、扫描电子显微镜等大型先进设备，具备10纳米至微米级器件与图形的加工测试能力。为进一步提升SMDL的技术创新及服务水平，加强

各位老师、同学、用户，大家好！上海科技大学量子器件中心于近日正式更名为上海科技大学材料器件中心。为了进一步树立材料器件中心的品牌形象，更好地展现上科大校级微加工平台的特色、专业性和创新精神，诚邀您参与材料器件中心Logo设计有奖征集活动。有关活动细则如下：一、活动主题上海科技大学材料器件中心LOGO设计二、单位介绍上海科技大学材料器件中心（ShanghaiTech Material and Device Lab，简称SMDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的全社会开放的校级公共研发和教学实践育人平台。中心重点聚焦微电子、光电子和微纳机电等领域的新一代芯片培育研发和人才培养，吸引和聚集国内外科研用户，促进相关学科交叉和合作研究，并开展专硕创新育人模式的实践，助力提升学校在材料、微电子等交叉学科科研实力、育人能力以及在微纳制造技术领域的影响力。1.中文全称：上海科技大学材料器件中心2.英文全称：ShanghaiTech Material and Device Lab3.英文简称：SMDL4.成立时间：2019年12月5.发展愿景：打造国内外领先的微纳制造领域公共科研平台+教学实践